Датчики вакуума

Датчики Пирани

Как работает датчик Пирани?

В основе работы лежит зависимость теплопроводности газа от его давления. Внутри датчика находится чувствительный элемент — тонкая металлическая нить (из вольфрама, платины или других материалов, в том числе в химически стойких версиях). Эту нить подключают к электрической цепи и нагревают током. Когда нить находится в газовой среде, молекулы газа сталкиваются с ней и отводят тепло. Если давление газа растёт, молекул становится больше — тепло отводится активнее, нить охлаждается, её температура и электрическое сопротивление меняются. Если давление падает, тепло отводится слабее и нить нагревается сильнее. Электроника датчика фиксирует эти изменения. Есть два распространённых подхода:

1. Поддерживают постоянный ток нагрева и регистрируют изменение сопротивления нити
2. Поддерживают постоянную температуру (и сопротивление) нити, а при изменении давления регистрируют изменение подаваемого напряжения.

На основе этих данных прибор вычисляет и выдаёт значение давления.

В каких областях применяют Датчики Пирани?

• полупроводниковая промышленность (производство микрочипов)
• химическая и фармацевтическая отрасли (реакторы, сушильные установки)
• научные исследования (экспериментальные камеры, ускорители частиц)
• медицинское оборудование (автоклавы, вакуумные стерилизаторы)
• мониторинг работы вакуумных насосов, печей, систем течеискания

Датчики Пирани Edwards

Активные линейные конвекционные датчики