Датчики вакуума
Датчики Пирани
Как работает датчик Пирани?
В основе работы лежит зависимость теплопроводности газа от его давления. Внутри датчика находится чувствительный элемент — тонкая металлическая нить (из вольфрама, платины или других материалов, в том числе в химически стойких версиях). Эту нить подключают к электрической цепи и нагревают током. Когда нить находится в газовой среде, молекулы газа сталкиваются с ней и отводят тепло. Если давление газа растёт, молекул становится больше — тепло отводится активнее, нить охлаждается, её температура и электрическое сопротивление меняются. Если давление падает, тепло отводится слабее и нить нагревается сильнее. Электроника датчика фиксирует эти изменения. Есть два распространённых подхода:
- Поддерживают постоянный ток нагрева и регистрируют изменение сопротивления нити
- Поддерживают постоянную температуру (и сопротивление) нити, а при изменении давления регистрируют изменение подаваемого напряжения.
На основе этих данных прибор вычисляет и выдаёт значение давления.
В каких областях применяют Датчики Пирани?
Контроль вакуума:- полупроводниковая промышленность (производство микрочипов)
- химическая и фармацевтическая отрасли (реакторы, сушильные установки)
- научные исследования (экспериментальные камеры, ускорители частиц)
- медицинское оборудование (автоклавы, вакуумные стерилизаторы)
- мониторинг работы вакуумных насосов, печей, систем течеискания
Датчики Пирани Edwards
Благодаря ряду усовершенствований и функциональных возможностей APG200 подходит для всех вакуумных рынков: от аналитических приборов, которые могут воспользоваться преимуществами уменьшенных размеров и гибкой производительности, до полупроводниковых приборов, для которых новые интерфейсы и световые кольца улучшают обслуживание систем, для научных работников и разработчиков, которым помогает локальная индикация давления. для мониторинга экспериментов вдали от основных интерфейсов
Активные линейные конвекционные датчики
| Модель | Артикул |
|---|---|
| APGX-H NW16 aluminium | D02391000 |
| APGX-H NW16 stainless steel | D02395000 |
| APGX-H NW25 stainless steel | D02392000 |
| APGX-H 1/8" NPT stainless steel | D02396000 |
| APGX-H electronics module | D02391800 |
| NW16 AL tube | D02391801 |
| NW16 ST/ST tube | D02395801 |
| NW25 ST/ST tube | D02392801 |
| 1/8" NPT ST/T tube | D02396801 |
| APGX-H filter pack 5 (not NPT version) | D02391805 |
Активные датчики Pirani |
D02601000 |
| APG100-XM atmosphere to 10-3 mbar NW16 flange | D02601000 |
| APG100-XM atmosphere to 10-3 mbar NW25 flange | D02602000 |
| APG100-XM DN16CF | NRD710000 |
| APG100-XLC atmosphere to 10-4 mbar corrosion resistant NW16 flange | D02603000 |
| APG100-XLC atmosphere to 10-4 mbar corrosion resistant NW25 flange | D02604000 |
| APG100-XLC DN16CF | NRD712000 |
| APG200-XM-NW16 | D1G1011100 |
| APG200-XM-NW25 | D1G1021100 |
| APG200-XLC-NW16 | D1G2011100 |
| APG200-XLC-NW25 | D1G2021100 |
| APG200-XM-FR-NW16 | D1G4011100 |
| APG200-XLC-FR-NW16 | D1G5011100 |
| APG200-XMP-FR-NW16 | D1G6011100 |
| APG200-MP-FR-NW16 | D1G6011150 |
| nAPG200-XM-RS485-NW16-9 Pin DSUB | D1G1010200 |
| nAPG200-XM-RS232-NW16-9 Pin DSUB | D1G1015200 |
| nAPG200-XLC-RS485-NW16-9 Pin DSUB | D1G2010200 |
| nAPG200-XLC-RS232-NW16-9 Pin DSUB | D1G2015200 |
| ASG2 NW16 1000 mbar | D35736000 |
| ASG2 NW16 2000 mbar | D35738000 |
| ASG2 ⅛” NPT 1000 mbar | D35735000 |
| ASG2 ⅛” NPT 2000 mbar | D35737000 |
| ASG2 adaptor cable (0.5 m) 4 pin DIN43650 form A to FCC68 | D40003160 |
| APG200-LC, фланец NW16 | APG200-LC, фланец NW25 | APG200-M, фланец NW16 | APG200-M, фланец NW25 |
| APG200-MP, фланец NW16 | APG200-MP, фланец NW25 | APG200-XLC, без фланца (трубка под сварку) | APG200-XLC, фланец NW16 |
| APG200-XLC, фланец NW25 | APG200-XM, без фланца (трубка под сварку) | APG200-XM, фланец NW16 | APG200-XM, фланец NW25 |
| APG200-XMP, без фланца (трубка под сварку) | APG200-XMP, фланец NW16 | APG200-XMP, фланец NW25 | nAPG200-XLC, фланец NW16, RS232 |
| nAPG200-XLC, фланец NW16, RS485 | nAPG200-XLC, фланец NW25, RS232 | nAPG200-XLC, фланец NW25, RS485 | nAPG200-XM, фланец NW16, RS232 |
| nAPG200-XM, фланец NW16, RS485 | nAPG200-XM, фланец NW25, RS232 | nAPG200-XM, фланец NW25, RS485 | nAPG200-XMPS, фланец NW16, RS232 |
| nAPG200-XMPS, фланец NW16, RS485 | nAPG200-XMPS, фланец NW25, RS232 | nAPG200-XMPS, фланец NW25, RS485 | APG-L-NW16 |
| ATC-E | ASG 1000 | ASG 2000 | |
датчики вакуума pfeiffer
| APR 250 | APR 260 | APR 262 | APR 265 |
| APR 266 | APR 267 | CMR 361/CCR 361 | CMR 362/CCR 362 |
| CMR 363/CCR 363 | CMR 364/CCR 364 | CMR 365/CCR 365 | CMR 371/CCR 371 |
| CMR 372/CCR 372 | CMR 373/CCR 373 | CMR 374/CCR 374 | CMR 375/CCR 375 |
| IKR 251 | IKR 261 | IKR 270 | PKR 251 |
| PKR 261 | IKR 360 | IKR 361 | IMR 265 |
| PBR 260 | PKR 361 | TPR 270 | TPR 280 |
| TPR 281 | TPG 265А | TPG 201 | PCR 280 |
instru (instrutech)
датчики Пирани, холодный и горячий катод, баратрон, MEMS — полный модельный ряд для промышленного и научного вакуума. Диапазон от атмосферы до 10⁻⁸ Па.
Вакуумные датчики и вакуумметры
| WPC400 | WPI200 |
| WPH300 | PON100 |
| PNP101 | CMG500-11 |
| CMG500-21 | CMG500-31 |
| PVC410 | RCP230 |
Встраиваемые панельные вакуумметры
| VCT160S | VCT160D |
Комбинированные вакуумметры YZJ-серия
| YZJ2752T | YZJ2752F |
Контроллер вакуумных датчиков
| WGC150 |
Анализаторы остаточных газов (RGA)
| QGA100F | QGA200F |
| QGA300F | QGA100M |
| QGA200M | QGA300M |
Сменные датчики-зонды (запасные части)
| PG-100 | PG-200 |
| PG-230 | PG-300 |
| PG-400 | PG-160 |
Кабели, блоки питания, интерфейсы
| CBL001-01 | CBL001-02 |
| CBL001-03 | CBL001-04 |
| CBL001-05 | CBL001-06 |
| CBL001-007 | ADPT2402A |
| RSUSB01 | WFTC-001 |
Thyracont
VD — удобный мониторинга.VCP — работают в ограниченных пространствах с высокой точностью измерений.
VCC — вакуумметры Пирани с функцией холодного катода для точного и непрерывного измерения давления.
VSC — компактные цифровые датчики вакуума.
VSH — высоковакуумные датчики.
VSP — комбинированные вакуумметры, объединяющие в себе датчики Пирани и холодного катода. Измеряют давление от атмосферного до высокого вакуума.
VSR — вакуумметры с холодным катодом.
VSM — цифровые вакуумметры с датчиками Пирани для широкого диапазона измерений.
| VCC200MA4 | VSC43MA4 | VCP63MV | VD85 |
| VD81 | VD84/2 | VD84/1 | VD83 |
| VSH89DL | VSH89D | VSH88DL | VSM79D |
| VSM77E | VSM77DL | VSP841 | VSP63MV |
| VSP63DL | VSP63D | VSP522 | VSR54DL |
| VSR53DL |